高純度ガス・標準ガス・特殊ガス






高純度ガス
特性 高純度ガスは特定不純物が一定濃度以下で保証された固有の性質をもつ単成分の圧縮ガスまたは、液化ガスです。ゼロガス、キャリヤーガス、雰囲気などの用途に使用されます。また、半導体プロセス用にクリーン仕様製品も取り扱っております。
種類 窒素 / 一酸化炭素 / ネオン / 圧縮空気 / エチレン / キセノン / 水素 / アセチレン / 六フッ化硫黄 / イソブタン / 二酸化炭素 / 酸素 / 酸化窒素 / クリプトン / アルゴン / メタン / エタン / ヘリウム / プロパン

標準ガス
特性 各種分析器、計測器は定期的な精度チェックを必要とし、計器のゼロ点調整を行うゼロガスと被測定成分が一定量入っており、1~2本で計器の校正を行うスパンガスなどがあり、種々のガスを総括して標準ガスという。
産業用では、自動車排ガス、大気汚染排ガスなどの測定機校正用、雰囲気反応用、燃焼カロリーテスト用などがあり、医療用では血液ガス分析機器用や肺機能測定装置用などがあります。
主な用途 ・自動車排ガス、大気汚染排ガス測定機校正用・雰囲気反応用・燃焼カロリーテスト用・血液ガス分析機器用

特殊ガス
特性 特殊ガスは電子材料分野で多く利用されており、そのガスは極めて高い毒性を持ち多くは可燃性であり、中には自然発火性、分解爆発性を有するものがあります。
種類 アルシン / ジシラン / セレン化水素 / ホスフィン / モノゲルマン / モノシラン 等
主な用途 ・半導体・光ファイバー・太陽電池・ファインセラミックス



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